Комбинационный широкодиапазонный модуль Micro-Ion® ATM (серия 390)
Данный модуль способен обеспечивать точное измерение давления до атмосферы вместе с прецизионной индикацией дифференциального давления в вакуумной камере относительно внешнего атмосферного давления. Этот небольшой модуль объединяет все четыре датчика и управляющую электронику в компактном дизайне, уменьшая число датчиков, необходимых для вакуумной камеры и минимизируя требуемое место.
Преимущества:
- Обеспечивает измерение давления с 1 x 10-9 Торр до атмосферы;
- Интерфейс RS-485: позволяет создавать связь между модулем и управляющим хостом, и конфигурировать модуль с помощью него;
- Интерфейс DeviceNet: обеспечивает высокую скорость доступа и легкую настройку всех параметров датчика;
- Управляющие реле: могут быть включены для упрощения контроля за процессом. Установки могут быть сконфигурированы через интерфейс RS;
- Замена датчиков в полевых условиях: датчики могут быть легко и быстро заменены в полевых условиях, с использованием только отвертки после удаления из вакуумной системы.
