Квадрупольный масс-спектрометр (анализатор) остаточных газов

Современные полупроводниковые технологии достигли нано-уровня и тематика многих исследований и производств, так или иначе ставит задачу стабильного воспроизведения химических/физических условий процесса. Особое внимание обращается на измерение и анализ остаточного газа в рабочих камерах различных вакуумных систем. HORIBA STEC предлагает анализаторы остаточного газа (RGA) с самым маленьким в мире квадрупольным масс-спектрометром.Самое маленькое в мире исполнение системы масс-спектрометрии :

самая маленькая и легкая в мире; построена на девяти парах квадруполей; может работать в условиях низкого вакуума (высокого давления) 1,46 Па (11 мТорр); высокая скорость измерения. Скорость сканирования: 0,6 сек/масс. Разрешение: 0,5 AMU. Предел обнаружения: 1-10-8 Па; используются съемные и легло заменяемые сенсорные головки; не требует дегазации; возможность соединения с фланцем CF35; доступны различные графические режимы для анализа остаточного газа.

Характеристики, которыми обладает анализатор остаточных газов Micropole™, обеспечиваются уникальным анализатором MicroPole™ (MPA), состоящий из девяти квадруполей, которые включают в себя все преимущества технологии обработки ультра-прецизионным оптическим травлением и технологии стыков стекло/металл. Развитие MPA позволило создать самый маленький в мире анализатор остаточного газа с похожей или лучшей чувствительностью по сравнении с традиционными и большими масс-спектрометрами. Сенсорный блок анализатора уже откалиброван под парциальное давление, и позволяет получить полное абсолютное и парциальные давления остаточных газов.