Характеристики компактных испарителей жидкостей серии MI/MV
Свойства и преимущества серии MI:
|  |
 | Основные шаги процесса испарения рабочих жидкостей и подачи их в технологическую камеру:
|
Компактные испарители серии MI/MV
Для своей работы используют массовый расходомер жидкости, а также РРГ, который контролирует ввод газаносителя в испаритель.
Принцип работы испарителей серии MI показан на рисунке ниже.
Свойства и преимущества серии MV:
- Одинаковый с серией MI принцип действия.
- Имеется настройка разности температуры в области смешивания и испарения.
- Низкая температура области смешивания предотвращает температурное расслоение смеси.
- Высокая температура области испарения создает высокую скорость испарения (20 г/мм).
| Модель | MI-1000 | MV-1000 |
| Тип жидкости | Все жидкости, кроме коррозионных к нержавеющей стали (например, HCl и HF) | |
| Пример создания потока: TEOS (до 7г/мин), IPA (до 3сс/min) | Макс. 5,0 CCM перевод (перевод жидкой фазы) | |
| Нагреватель | 120 В (100 Вт)/208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт) | Контрольный клапан: 120 В (100 Вт)/ 208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт) Испаритель |
| Смачиваемые части | SUS316L, PFA | |
| Настройки температуры | Макс. 140°С | Управляющий клапан: макс. 140°С Испаритель: макс. 200°С |
| Датчик температуры | Термопара К типа | Термопара К типа (Управляющий клапан, испаритель) |
| Выключатель температуры | Высокий допуск 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC | Управляющий клапан: 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC Испаритель: 2450RC 250°С (ELMWOOD) типа NC |
| Наружные утечки | Менее чем 1×10-8 Па·м3/с (He) | |
| Полные утечки | Управляющий клапан: менее чем 1×10-6 Па·м3/с (He) Вариант с воздушным клапаном: менее чем 1×10-9 Па·м3/с (He) | Управляющий клапан: менее чем 1×10-6 Па·м3/с (He) Испаритель: менее чем 1×10-9 Па·м3/с (He) |
| Стандартное соединение | Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/4” VCR «папа» | Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/2” VCR «папа» |
| Рабочая температура | От 15 до 50°С | От 15 до 50°С |
| Сопротивление давления | 1,0 МПа (G) | 1,0 МПа (G) |
| Опции | Пневматический клапан | Пневматический клапан |
| Масса (без кабеля) | 620±10 г (Стандартное исполнение), 700±10 г (исполнение с воздушным клапаном) | 1110±10 г (Стандартное исполнение), 1190±10 г (исполнение с воздушным клапаном) |
Габаритные размеры
