Криогенные станции с XYZ-микроманипуляторами
| Криогенные станции с XYZ-микроманипуляторами для электрических измерений на образце с системой захолаживания подложки на замкнутом цикле (криокулер Гиффорда-МакМагона). (Micro-manipulated Probe Systems). |  |
| Уникальные микроманипуляторные криогенные станции для проведения измерений и работ на захоложенных подложках и объектах. Эти системы криостатируются с помощью замкнутого цикла. Температурный диапазон: 4 К — 700 К. Обеспечивают возможность проведения как низкочастотных резистивных измерений, так и ВЧ-измерений (до 67 ГГц) для измерения частотных характеристик образцов (например DLTS). Имеют систему виброизоляции образца. Полная система включает в себя криостат с криоподложкой и XYZ-манипуляторы со щупами (до 6-ти щупов), микроскоп, мини-видеокамеру, вакуумный пост. Большое количество вариантов щупов и измерительных схем. |
